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日本为什么没有高端光刻机

科技知识李季供稿

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 日本为什么没有高端光刻机

  情况概念

  光刻机(Mask Aligner) 又名掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫 Mask Alignment System.光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干等,才能将硅片制成芯片。

  历史实际

  在高端光刻机上,除了龙头老大荷兰的ASML,尼康和佳能也曾做过光刻机,而且尼康还曾经得到过Intel的订单。但是近些年,尼康在ASML面前被打的毫无还手之力,高端光刻机市场基本被荷兰的ASML占据。

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